SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针方法

标准详情与信息

标准名称：硅外延层电阻率的面接触三探针方法

标准号：SJ/T 10481-1994

发布日期：1994-04-11

实施日期：1994-10-01

主管部门：电子工业部。

行业分类：

起草单位与起草人

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