GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

标准详情与信息

标准名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

标准号：GB/T 14847-1993

发布日期：1993-12-30

实施日期：1994-09-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：

起草单位与起草人

起草单位包含：机电部四十六所。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。