GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法

标准详情与信息

标准名称：硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法

标准号：GB/T 14142-1993

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：

起草单位与起草人

起草单位包含：峨眉半导体材料研究所。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。