YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

标准详情与信息

标准名称：硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

标准号：YS/T 15-1991

发布日期：1991-04-26

实施日期：1992-06-01

主管部门：中国有色金属工业总公司。

行业分类：

起草单位与起草人

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