标准详情与信息
标准名称:硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
标准号:GB/T 14141-1993
发布日期:1993-02-06
实施日期:1993-10-01
管理部门:国家标准化管理委员会
行业分类:
起草单位与起草人
起草单位包含:峨眉半导体材料研究所。
*本网站标准资料仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。
标准名称:硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
标准号:GB/T 14141-1993
发布日期:1993-02-06
实施日期:1993-10-01
管理部门:国家标准化管理委员会
行业分类:
起草单位包含:峨眉半导体材料研究所。
*本网站标准资料仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。