GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

标准详情与信息

标准名称：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

标准号：GB/T 14141-2009

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：电气工程

起草单位与起草人

起草单位包含：宁波立立电子股份有限公司、南京国盛电子有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心。

起草人包含：李慎重 、许峰 、刘培东 、谌攀 、马林宝 、何秀坤 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。