GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件

标准详情与信息

标准名称：离子注入机通用技术条件

标准号：GB/T 15862-1995

发布日期：1995-12-22

实施日期：1996-08-01

管理部门：工业和信息化部（电子）。

行业分类：电子学

起草单位与起草人

起草单位包含：电子工业部第四十八研究所。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。