T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

标准详情与信息

标准名称：多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法

标准号：T/CNIA 0060-2020

发布日期：2020-05-27

实施日期：2020-08-01

行业分类：C356 电子和电工机械专用设备制造

本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。

起草单位与起草人

主要起草人：刘文明、孟凡江、田洪先、高明、刘强、黄宗武、赵英、姜海明

起草单位：宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。