GB/T 20176-2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

标准详情与信息

标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

标准号：GB/T 20176-2006

发布日期：2006-03-27

实施日期：2006-11-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：化工技术

起草单位与起草人

起草单位包含：清华大学电子工程系。

起草人包含：查良镇 、陈旭 、黄雁华 、王光普 、黄天斌 、刘林等 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。