标准详情与信息
标准名称：半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法
标准号：GB/T 41852-2022
发布日期：2022-10-12
实施日期：2022-10-12
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：电子学
由于组成MEMS器件的材料和尺寸范围非常广泛，用于测量微尺寸单元的仪器也未被全面推广，此标准没有对试样的材料、尺寸和性能做出特别限制。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国电子科技集团公司第十三研究所、河北美泰电子科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、绍兴中芯集成电路制造股份有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、江苏紫心新材料研究院有限公司、宁波志伦电子有限公司。
起草人包含：李倩 、王伟强 、李根梓 、顾枫 、单伟中 、周嘉 、李志东 、崔波 、武亚宵 、田松杰 、李凡亮 、潘安宇 、茅曙 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
