标准详情与信息
标准名称：纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
标准号：GB/T 36969-2018
发布日期：2018-12-28
实施日期：2018-12-28
管理部门：中国科学院。
行业分类：计量学和测量、物理现象
此标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
起草单位与起草人
起草单位包含：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
起草人包含：李慧琴 、金承钰 、梁齐 、何丹农 、韦菲菲 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。