标准详情与信息
标准名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
标准号：GB/T 5226.33-2017
发布日期：2017-10-14
实施日期：2018-05-01
管理部门：中国机械工业联合会
行业分类：电气工程
本部分没有规定电磁兼容性（EMC）的要求。
起草单位与起草人
起草单位包含：中微半导体设备(上海)有限公司、北京机床研究所、上海微电子装备有限公司、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、沈阳拓荆科技有限公司、北京七星华创电子股份有限公司、中晟光电设备（上海）有限公司、理想太阳能（上海）有限公司、盛美半导体设备（上海）有限公司。
起草人包含：李天笑 、黄祖广 、王海涛 、田保峡 、郭和平 、沈红 、孙东曦 、潘菊凤 、孙岩 、刘忠武 、张志强 、李补忠 、薛瑞娟 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。