DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范

标准详情与信息

标准名称：电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范

标准号：DB13/T 5631-2022

发布日期：2022-12-27

实施日期：2023-01-27

行业分类：制造业

起草单位与起草人

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